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HGF 水平梯度冷凝
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■主要技术指标
◆结构型式:立式,(可旋转移动)
◆适合2~6'' 晶体生长工艺(可定制)
◆炉体有效加热长度:1200mm
◆最高工作温度:1300℃
◆恒温区精度(静态闭管):±0.5℃
◆升温速率(室温~1260℃):
斜变升温速率可控在0~15℃/min
◆降温(1260℃~900℃):0~5℃/min
◆供电电源:三相五线 380V±5%,50~60Hz
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