8吋立式扩散炉

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产品详情

主要技术指标：

可配工艺管外径：2-8英寸
可配工艺管数量：1-4管/台
工作温度范围：400-1286℃
恒温区长度及精度：300-1100mm 800-1286℃±0.5℃
单点温度稳定性：800-1286℃±0.5℃/24h
最大可控升温速度：15℃/min
最大降温速度：5℃/min

※青岛赛瑞达可为用户量身定制非标准产品

控制系统特点：

可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步
自动运行中可暂停/继续运行功能
PID参数自整定功能
系统故障自动诊断功能
停电后断点继续功能等
多点温度补偿

※该系统可根据用户特殊要求增减或开发相应功能