8吋立式扩散炉

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产品详情


主要技术指标:
  • 可配工艺管外径:2-8英寸
  • 可配工艺管数量:1-4管/台
  • 工作温度范围:400-1286℃
  • 恒温区长度及精度:300-1100mm 800-1286℃±0.5℃
  • 单点温度稳定性:800-1286℃±0.5℃/24h
  • 最大可控升温速度:15℃/min
  • 最大降温速度:5℃/min
    ※青岛赛瑞达可为用户量身定制非标准产品


控制系统特点:
  • 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
  • 自动运行中可暂停/继续运行功能
  • PID参数自整定功能
  • 系统故障自动诊断功能
  • 停电后断点继续功能等
  • 多点温度补偿
    ※该系统可根据用户特殊要求增减或开发相应功能
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