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小管径薄膜生长CVD(实验室设备)
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产品详情
主要参数(可按需求定制)
工艺管径:60mm
工作温度:1020-1050℃
恒温区:120mm
真空:3Pa
真空恒压:手动/自动
碳源气体:甲烷CH
4
其他气体:氢气、氮气
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