主要特点：

• 石墨烯薄膜产业化设备

• 宽幅卷对卷连续生长

• APC系统；真空蝶阀自动控制

• 碳源等工艺气体MFC控制

• 薄膜制备过程全自动控制

• 三腔室结构

主要参数：

• 工作温度：1020-1050℃

• 恒温区：1000mm、五段控温

• 工艺管材质：石英管

• 工艺管内径：Φ250mm

• 铜箔宽度：200mm

• 铜箔运行速度约：100-400mm/min，可调

• 极限真空度：小于3Pa，可恒压控制