主要参数（可按需求定制）

• 工艺管径：60mm

• 工作温度：1020-1050℃

• 恒温区：120mm

• 真空：3Pa

• 真空恒压：手动/自动

• 碳源气体：甲烷CH₄

• 其他气体：氢气、氮气